天津河西區(qū)曝光機(jī)濾芯ASM日本掘場流量計(jì)LF-F50M-A（TEOS）

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更新時(shí)間：2025-09-16
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ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的簡稱，中文名稱為阿斯麥（中國大陸）、艾司摩爾（中國臺灣）。艾司摩爾（ASML）為半導(dǎo)體設(shè)備供貨商，成立于1984年，是從荷商飛利浦分割出來獨(dú)立的半導(dǎo)體設(shè)備公司，總部設(shè)立于荷蘭的Veldhoven。

ASML為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機(jī)及相關(guān)服務(wù)，TWINSCAN系列，應(yīng)用廣泛的光刻機(jī)型。目前絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商，都向ASML采購TWINSCAN機(jī)型，例如英特爾（Intel），三星（Samsung），海力士（Hynix），臺積電（TSMC），中芯國際（SMIC）等。

ASML的產(chǎn)品線分為PAS系列，AT系列，XT系列和NXT系列，其中PAS系列光源為高壓汞燈光源，現(xiàn)已停產(chǎn)，AT系列屬于老型號，多數(shù)已經(jīng)停產(chǎn)。市場上主力機(jī)種是XT系列以及NXT系列，為ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的機(jī)型，分為干式和沉浸式兩種，而NXT系列則是現(xiàn)在主推的機(jī)型，全部為沉浸式。